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抛光工艺的影响
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【摘要】:
①温度:温度升高,加强了抛光液化学反应能力,抛光速率增加。但过高的温度会引起抛光
液的挥发,以及加快化学反应,表面腐蚀严重,因而会产生不均匀的抛光效果,使抛光质量下
降。
②pH值:抛光液的pH值越高,碱性越强,反应速率越快。但pH值对被抛表面刻蚀、磨料的分
解与溶解度、抛光液的稳定性有很大的影响,从而影响材料的去除率和表面质量,因此应严格
控制。
③压力:一般地,压力越大,抛光速率越快。但是压力足够大时,抛光速率会略微下降,原
因是压力大,抛光垫承载抛光液能力下降。另外,压力大易形成破片现象。
④转速:转速增加,会引起抛光速率增加。但转速过高又会使抛光液在抛光垫上分布不均
匀,影响抛光质量。
⑤抛光液浓度:抛光液的浓度增加时,去除率也随之增加,但当磨粒浓度超过某一值时,材
料去除率将停止增加,维持一个常数值,这种现象称为去除饱和。而且过高的浓度,有可能造
成表面缺陷(划痕)增加,影响表面质量。