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纳米二氧化硅抛光液的性能指标对抛光工艺的影响关系
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【摘要】：
①抛光液中纳米二氧化硅胶粒的粒径及分布——影响粗糙度、摩擦力；
②抛光液的pH值——影响腐蚀速率；
③抛光液分散的稳定性——使抛光液不团聚；
④抛光液的粘度——影响抛光液的流动性。
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